华纳创新受邀协办2021(十三届)传感器与MEMS产业化技术国际研讨会

     由中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室、中国电子学会传感与微系统技术分会主办，北京赛微电子股份有限公司协办,由厦门半导体投资集团有限公司、上海龙媒商务咨询有限公司承办的“2021(十三届)传感器与MEMS产业化技术国际研讨会（暨成果展)”在中国厦门召开。   

     本次论坛邀请传感器与MEMS领域国际知名专家以及业界顶尖企业、政府机构、高校、科、研、院所的重要嘉宾发表主题演讲，就业内最前沿技术和中国MEMS产业现状及发展机遇，共同探讨交流。

在本次论坛中，华纳创新展出了具有代表性的Tousimis 临界点干燥仪，包括：

Automegasamdri®- 938 Series C

主要特点：

a)专为微机电系统（MEMS）制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪，无尘室适用

b)最大可处理 8 英寸晶圆，每次最多可处理 5 个

c)标配 HF 相容晶圆架和 10mm 方形芯片架

d)标配样品室内环，可适配不同直径的晶片样品，减少 LCO2 消耗，缩短干燥时间，提高干燥效率

e)LCD 触控屏

f)可编程触屏控制界面，全自动控制

g)多种默认处理程序，也可自定义程序并重复使用

h)专利“Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品

i)慢速充液功能，保护敏感微电子元件

j)高效内部冷却回路，快速降低样品室温度

k)专利内置式 SOTER 冷凝器，分离乙醇和 CO2

l)两级 LCO2 过滤，可过滤 99.999% 0.08μm 以上颗粒

m)外置吹扫后过滤器，便于仪器维护

n)样品室照明便于观察干燥过程

o)所有部件满足 CE、UL 和 U.S.Military 标准

Automegasamdri®-936 series C

主要特点：

a) 专为微机电系统（MEMS）制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪，无尘室适用

b) 最大可处理 6 英寸晶圆，每次最多可处理 5 个

c) 标配 HF 相容晶圆架和 10mm 方形芯片架

d) 标配样品室内环，可适配不同直径的晶片样品，减少 LCO2 消耗，缩短干燥时间，提高干燥效率

e) LCD 触控屏

f) 可编程触屏控制界面，全自动控制

g) 多种默认处理程序，也可自定义程序并重复使用

h) 专利“Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品

i) 慢速充液功能，保护敏感微电子元件

j) 高效内部冷却回路，快速降低样品室温度

k) 专利内置式 SOTER 冷凝器，分离乙醇和 CO2

l) 两级 LCO2 过滤，可过滤 99.999% 0.08μm 以上颗粒

m) 外置吹扫后过滤器，便于仪器维护

n) 样品室照明便于观察干燥过程

o) 所有部件满足 CE、UL 和 U.S.Military 标准

华纳创新是Tousimis在中国的授权代理和技术服务合作伙伴，负责Tousimis临界点干燥仪在全国范围内的销售以及售后服务。

Tousimis成立于1962年，总部位于美国马里兰州Rockville,   拥有50余年的临界点干燥仪（Critical Point Dryers, CPD）设备制造经验。Tousimis自成立之初就一直致力于技术革新，引领着临界点干燥设备行业的发展。其临界点干燥仪因技术先进、操作简便、可靠性高而闻名世界，已在化工、材料、生物、制药等领域广泛应用。