产品特点： 专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的台式全自动临界点干燥仪，防静电无尘室适用 标配不同尺寸晶圆架，每次可处理5个晶圆样品 标配样品室内环套装，适配不同的样品尺寸，减少LCO2消耗，提高干燥效率 高效绝热冷却系统，可快速降温并在充液、吹扫时自动保温 专利SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO2，消除静电及吹扫噪音 内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性 外置0.5μm的LCO2过滤装置，去除水、油和颗粒物 内置吹扫后过滤器，可过滤LCO2内0.4μm以上杂质 每个操作模式均有LED显示，一目了然 样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态 带刻度的微型计量阀门控制LCO2流量 微处理器控制，可全自动操作 操作参数可重复设定，确保结果可重复性 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准
B系列干燥仪参数对比：
型号
| Autosamdri-815 Series B | Autosamdri-815B Series B | Automsamdri-915B Series B | 产品编号
| 8779C | 8780C | 8785C | | 样品室尺寸 | 1.25"(内径)×1.25"(深) | 4.5"(内径)×1.25"(深) | 6.5"(内径)×1.25"(深) | | 样品室容积 | 25 ml | 326 ml | 679 ml | | 样品室内环 | - | 4", 3", 2", 1.25" | 6", 4", 3", 2", 1.25" | | HF相容晶元架 | 10mm | 4", 3", 2", 10mm | 6", 4", 3", 2", 10mm | | 设备尺寸 | 35.6 x 26.0 x 54.6 cm | 36.2 x 29.8 x 63.5 cm | 36.2 x 29.8 x 63.5 cm | | 温度压力范围 | - 30 ℃ ~ 60 ℃，0 ~ 2000 psi |
标配附件：
柔性高压LCO2进液管线，3.0 m（无尘室） 防静电排空管线 外置SOTER冷凝器（分离乙醇和CO2，消除静电及吹扫噪音） 样品室内环（仅适用于915B与815B）可适配不同直径晶圆 HF相容晶圆架（仅适用于915B与815B）与10mm方晶架，每个支架最多可放置5片晶圆样品 备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2），保险丝（2） 安装工具组
用户说明书及数据表 2年质保及终生免费技术支持
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