Tousimis MEMS（SeriesB/C）HF相容样品室扩展配件

序号

产品编号

名称

功能描述

图片

1

8768A

6" Wafer Holder

可放置5片6"晶圆，用于Automegasamdri®-915B and Automegasamdri®-916B，包含5个分隔环。

尺寸：152.9 mm（内径）/158.8 mm（外径）/ 25.8 mm（高）

2

8768A-01

6" Wafer Spacer Rings   (5/pkg)

6"晶圆分隔环，5个套装。

3

8768B

4" Wafer Holder

可放置5片4"晶圆，包含5个分隔环。

尺寸：102.1 mm（内径）/ 108 mm（外径）/ 25.8 mm（高）

4

8768B-01

4" Wafer Spacer Rings   (5/pkg)

4"晶圆分隔环，5个套装。

5

8768C

3" Wafer Holder

可放置5片3"晶圆，包含5个分隔环。

尺寸：76.7 mm（内径）/ 82.6 mm（外径）/ 25.8 mm（高）

6

8768C-01

3" Wafer Spacer Rings   (5/pkg)

3"晶圆分隔环，5个套装。

7

8768D

2” Wafer Holder

可放置5片2"晶圆，包含5个分隔环。

尺寸：51.3 mm（内径）/ 57.2 mm（外径）/ 25.8 mm（高）

8

8768D-01

2" Wafer Spacer Rings   (5/pkg)

2"晶圆分隔环，5个套装。

9

8768E

10mm Square Chip

Holder

可放置5片10mm方晶样品。

尺寸：30 mm（外径）/ 28 mm（高）

10

8768F

5" Wafer Holder

可放置5片5"晶圆，包含5个分隔环。

尺寸：127.5 mm（内径）/ 133.4 mm（外径）/ 25.8 mm（高）

11

8768F-01

5" Wafer Spacer Rings   (5/pkg)

5"晶圆分隔环，5个套装。

12

8768G

1" Wafer Holder

可放置5片1"晶圆，包含5个分隔环。

尺寸：25.9 mm（内径）/ 31.8 mm（外径）/ 25.8 mm（高）

13

8768H

8" Wafer Holder

可放置5片8"晶圆，包含5个分隔环，仅适用于Automegasamdri®-916B。

尺寸：203.7 mm（内径）/ 209.6 mm（外径）/ 25.8 mm（高）

14

8768H-01

8" Wafer Spacer Rings   (5/pkg)

8"晶圆分隔环，5个套装。

15

8770-61

4" Chamber Inserts for 815B

4"样品室内环套装，用于815B机型。可减小样品室内径至最低1.25"，减少LCO2消耗，缩短处理时间。

16

8770-71

6" Chamber Inserts for 915B

6"样品室内环套装，用于915B机型。可减小样品室内径至最低1.25"，减少LCO2消耗，缩短处理时间。

17

8770-81

8" Chamber Inserts for 916B

8"样品室内环套装，用于916B机型。可减小样品室内径至最低1.25"，减少LCO2消耗，缩短处理时间。